001-4130-03 BROOKS布鲁克斯 控制器

001-4130-03 BROOKS布鲁克斯 控制器

001-4130-03 布鲁克斯控制器 是一款用于半导体制造设备的晶圆机械手控制器。它具有以下特点：

高精度： 该控制器可提供高精度的运动控制，可满足半导体制造设备对精度的苛刻要求。

高可靠性： 该控制器采用坚固耐用的设计，可在恶劣环境中可靠运行。

稳定性： 该控制器具有出色的稳定性，可确保晶圆机械手的稳定运行。

易于使用： 该控制器提供简单的操作界面和直观的编程语言，易于使用和维护。

主要功能

控制晶圆机械手的运动： 该控制器可控制晶圆机械手的各个轴的运动，包括 X、Y、Z 轴和旋转轴。

执行各种操作： 该控制器可执行各种操作，例如拾取、放置、旋转和对准晶圆。

与其他设备通信： 该控制器可与其他设备通信，例如真空泵和温度控制器。

应用领域

半导体制造： 可用于控制半导体制造设备的晶圆机械手

总的来说，001-4130-03 布鲁克斯控制器是一款功能强大、性能可靠、易于使用的晶圆机械手控制器，可广泛应用于半导体制造领域。

以下是一些关于 001-4130-03 布鲁克斯控制器的更多信息：

制造商： Brooks Automation

型号： 001-4130-03

控制精度： < 1 微米

工作电压： 24VDC

工作温度： 0°C 至 50°C

防护等级： IP65

001-4130-03 BROOKS布鲁克斯 控制器

The 001-4130-03 Brooks Controller is a wafer manipulator controller for semiconductor manufacturing equipment. It has the following characteristics:

High precision: The controller provides high precision motion control, which can meet the demanding precision requirements of semiconductor manufacturing equipment.

High reliability: The controller features a rugged design for reliable operation in harsh environments.

Stability: The controller has excellent stability to ensure stable operation of the wafer manipulator.

Easy to use: The controller offers a simple operating interface and an intuitive programming language that is easy to use and maintain.

Main function

Control the movement of the wafer manipulator: The controller controls the movement of the various axes of the wafer manipulator, including the X, Y, Z, and rotation axes.

Perform various operations: The controller can perform various operations, such as picking, placing, rotating, and allocating wafers.

Communication with other devices: The controller can communicate with other devices, such as vacuum pumps and temperature controllers.

Application field

Semiconductor manufacturing: Wafer manipulators that can be used to control semiconductor manufacturing equipment

Overall, the 001-4130-03 Brooks controller is a powerful, reliable, and easy-to-use wafer manipulator controller for a wide range of semiconductor manufacturing applications.

Here is some more information about the 001-4130-03 Brooks controller:

Manufacturer: Brooks Automation

Model: 001-4130-03

Control accuracy: < 1 micron

Working voltage: 24VDC

Operating temperature: 0°C to 50°C

Protection class: IP65

001-4130-03 BROOKS布鲁克斯 控制器